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高壓加速老化試驗箱測試半導(dǎo)體器件可靠性方法
點(diǎn)擊次數(shù):434 更新時間:2025-02-25

高壓加速老化試驗箱測試半導(dǎo)體器件可靠性方法

一、前言

在半導(dǎo)體器件的研發(fā)與生產(chǎn)過程中,確保其性能的可靠性和穩(wěn)定性至關(guān)重要。高壓加速老化試驗箱能夠模擬各種惡劣環(huán)境條件,通過對半導(dǎo)體器件施加高電壓和高溫等應(yīng)力,快速暴露潛在的缺陷和故障,大大縮短了產(chǎn)品可靠性驗證的時間。

二、測試流程

樣品準(zhǔn)備:選擇一定數(shù)量且型號規(guī)格相同的半導(dǎo)體器件作為測試樣品,確保樣品外觀無明顯損傷、引腳無變形等。對每個樣品進(jìn)行編號,記錄初始參數(shù),如正向?qū)妷骸⒎聪蚵╇娏鞯取?/span>

試驗箱設(shè)置:根據(jù)半導(dǎo)體器件的特性和測試要求,設(shè)置高壓加速老化試驗箱的參數(shù)。包括設(shè)定老化電壓,一般為器件額定電壓的 1.5 - 2 倍;老化溫度,通常在 100 - 150℃之間;老化時間,可根據(jù)實際情況設(shè)定為 24 小時、48 小時或更長。

樣品安裝:將編號后的半導(dǎo)體器件小心安裝在試驗箱的樣品架上,確保器件引腳與測試夾具連接牢固,避免虛接影響測試結(jié)果。

測試過程:啟動試驗箱,開始老化測試。在老化過程中,每隔一定時間(如 1 小時)對樣品進(jìn)行一次參數(shù)測量,記錄正向?qū)妷骸⒎聪蚵╇娏鳌⒔Y(jié)溫等參數(shù)變化。若發(fā)現(xiàn)某個樣品參數(shù)超出正常范圍,應(yīng)立即標(biāo)記并記錄相關(guān)情況。

測試結(jié)束:達(dá)到設(shè)定的老化時間后,關(guān)閉試驗箱,待溫度降至室溫后,取出樣品。再次對所有樣品進(jìn)行全面參數(shù)測量,并與初始參數(shù)進(jìn)行對比分析,評估器件的老化性能。

測試數(shù)據(jù)參考:

樣品編號

初始正向?qū)妷?/span> (V)

老化 1 小時正向?qū)妷?(V)

老化 2 小時正向?qū)妷?(V)

老化 3 小時正向?qū)妷?(V)

老化結(jié)束正向?qū)妷?/span> (V)

初始反向漏電流 (A)

老化 1 小時反向漏電流 (A)

老化 2 小時反向漏電流 (A)

老化 3 小時反向漏電流 (A)

老化結(jié)束反向漏電流 (A)

初始結(jié)溫 (℃)

老化 1 小時結(jié)溫 (℃)

老化 2 小時結(jié)溫 (℃)

老化 3 小時結(jié)溫 (℃)

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